ESCP3-M1系列超低差分压力传感器，基于硅电容MEMS技术
ESCP3-M1 Series Ultra-Low Differential Pressure Sensor based on Silicon Capacitive MEMS Technology
ESS研发了一系列的压力传感器，针对一系列的要求高解析度和高稳定性的低压差分压力传感器市场。ESCP3-M1是一个基于MEMS的硅电容压力传感器，具备世界级的解析度。此压力传感器是由ESS的创新的SOi表面微机器技术所支撑。
ESCP3-M1是一个数字差分超高解析度带SPi和TWi接口的压力传感器。此传感器包括一个高解析度的Σ△ADC来数字化信号。数字输出是完全校正的，且温度补偿的。基于内部的温度传感器和工厂校正系数，是存储在嵌入式的存储器里面，继而传感器是准备直接安装至最终用户系统而不需要更多的处理。总的误差包括重复性，滞后，非线性，热飘移和介乎于0℃和60℃之间的校正误差是胜于0.5%的满率。
一个低相位噪声振荡器也集成了的，革除了对任何外围元件的需要。不同的电源模式可以用来使能低功耗工作，然而输出率，继而转换速度是可编程的，使得最终用户来定制化/优化性能。传感器提供商精度32比特压力和温度输出。
ESCP3-M1传感器是一个硅电容压力传感器，带出色的长期稳定性。传感器包含在一个标准8脚DiP封装里，带两个气动孔。上面的孔是高侧，底部的孔是低侧。
不同的压力范围可以用同样的硬件来达成（MEMS传感器和CMOS的ASiC），只需要重新配置信号调理ASiC至新的压力范围。标准可用的范围是±10mbar,±25mbar,±100mbar之间。一旦提要求，其它在上述范围之外的也可以的。
二, 应用
1, 暖通空调
2，医疗仪器
3，气流监测
4，过程控制
5，过滤系统
三，性能
1，总的误差<0.5%满率（包括重复性，滞后，非线性，热飘移，校正误差）
2，单一供电3.3V
3，在同样封装上的TWi中SPi介面，主是可选择的
4，不同的压力配置
5，标准的2.54毫米节距DiP封装。
6，低压范围至±10mbar
7，可配置的电源模式用于低压/ 移动设备
四，性能特性
1，供电 :3.25~3.6V, 典型值3.3V
2，功耗（基于最高电源模式）: 2.75mA
3，工作温度: -20C~+80C
4，补偿温度（其它也可以）: 0~+60C
5，数字输出 : 32比特校正的压力和温度
6，响应时间：取决于过滤速度
7，耐受压力: x5 额定压力
8 , 媒介兼容：惰性非腐蚀气体
视频: AB Elektronik的差分压力传感器开发了来检测气态的媒体(比如柴油机废气)的压力差异和回压.其具备高的长期稳定性,且不被其环境/大气所影响.此传感器对于商用车和越野车特别有用的.
ESS料号清单:
1, MEMS压力传感器
1.1 ESCP3-M1, 差分, 用于暖通空调, 医疗仪器, 气流检测, 过程控制, 过滤系统(本案)
1.2 ESCP2-M1, 气象站,气压计,医疗设备,通用仪器,电梯,暖通空调,DiP8封装,SPI,I2C接口,功耗<10uA,解析度10uBar,量程0.4~11bara
1.3 ESCP2-M2, 不锈钢316L的18毫米直径胶囊
1.4 ESCP2-M3, 三极管封装,12脚
1.5 ESCP2-M4, 不锈钢316L
1.6 ESCP2-M5, 7*5*1.8毫米,SPI/I2C, <10uA功耗, 总误差+/-0.1%满率, 解析度10ubar, 量程400~2000mbara, 用于气压计,气象站,高度计,室内外导航,体育/休闲,GPS提升,手机,医疗设备,暖通空调,电梯
2, 流量计
2.1 HF系列工业流量发射器: 35*56毫米
2.2 ESF系列双向质量流量计, 44*92.8*35.4mm
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